設(shè)備主要由6個機(jī)構(gòu)系統(tǒng)組成:加工室、繞線室、切削液系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電氣柜、電機(jī)室,設(shè)備主要的運(yùn)行功能為繞線室的收放線、加工室的工作臺進(jìn)給、硅片切割、冷卻循環(huán)。電鍍?nèi)�自動磨片機(jī)設(shè)備的原理為:工件(硅棒)的下降與提升進(jìn)給通過一個伺服電機(jī)驅(qū)動,當(dāng)切割硅棒時,伺服電機(jī)驅(qū)動工件下降進(jìn)給;對硅棒的切割主要靠2個布有1500~2000個電鍍金剛石線槽的切割輪(盤),通過2個伺服電機(jī)對2個切割輪軸進(jìn)行驅(qū)動,完成切割軸的定期正、反轉(zhuǎn)鋸式往復(fù)運(yùn)動對工件進(jìn)行切割;在繞線室中設(shè)置4個張力監(jiān)測點(diǎn),通過壓力傳感器檢測切割線的張力,并通過2個張力輥在切割線運(yùn)行過程中實(shí)時調(diào)節(jié);2臺伺服電機(jī)驅(qū)動收、放線輪作定期正、反轉(zhuǎn)鋸式往復(fù)運(yùn)動,以完成收、放線功能;3臺伺服電機(jī)驅(qū)動排線輪,完成在設(shè)備運(yùn)行中切割線在收、放線過程中的軸向位移與方向的協(xié)調(diào)。